描述：

高压电源发生内部故障。

可能导致的原因：

检查高压电源液晶屏上显示的错误描述，根据描述排除故障。

Invert X fault: X组驱动故障，检查三相电压是否过低；驱动板上各15V电压是否正常。

I FBK fault X: X组反馈电流出现故障

1、  开高压瞬间观察所有放电管是否都有辉光放电，如果有某一根放电管无辉光放电，则可能是高压油箱内硅堆、高压电容或者高压包击穿。

2、  开高压瞬间如果有一整组放电管无辉光放电，则可能是该组电源驱动板出现问题，检测驱动板上各15V是否正常，从控制板到驱动板的电缆是否可靠连接。

3、  检测激光器连接大地是否可靠，不可靠的连接大地将会导致干扰。

4、  将电源模块切换到开环，可正常放电后测量电流板上各组电流值与电源模块上显示电流值是否一致，如果不一致则检查电流板和电源模块间的电流信号线缆是否连接可靠。

说明：

描述：

监测油箱箱体的温度，超过65度报警。

可能导致的原因：

冷却水温度过高－检查水冷机设置。

油箱内水流不够－检查冷却管。

说明：

检测油箱温度的常闭温度开关安装在油箱侧壁。

描述：

每分钟的温升大于3度或者大于该阶段温度限制10秒，磨合失败，风机磨合停止。

可能导致的原因：

电机轴承温度异常。

风机轴承温度异常。

轴承上冷却水流量不够。

轴承测温PT100的线缆接头连接不牢固或者断线。

风机轴承的润滑脂使用量不对。

说明：

轴承测温PT100安装在风机两端的轴承外壳内。

描述：

监测激光器风机的变频器是否工作正常。

可能导致的原因：

变频器内部错误－检查液晶屏显示查看错误代码，参见变频器操作手册。

说明：

描述：

涡轮风机电机侧的轴承温度异常。

可能导致的原因：

轴承上冷却水流量不够。

轴承测温PT100的线缆接头连接不牢固或者断线。

风机轴承的润滑脂使用量不对。

轴承磨损或损坏需要更换。

说明：

轴承测温PT100安装在涡轮风机电机侧的轴承外壳内。

描述：

涡轮风机非电机侧的轴承温度异常。

可能导致的原因：

轴承上冷却水流量不够。

轴承测温PT100的线缆接头连接不牢固或者断线。

风机轴承的润滑脂使用量不对。

轴承磨损或损坏需要更换。

说明：

轴承测温PT100安装在涡轮风机非电机侧的轴承外壳内。

描述：

风机在90秒内未达到设定频率以上。

可能导致的原因：

真空系统泄露 。

气体混合配比问题 。

风机没有运转 。

风机启动信号未送达到变频器。

变频器参数设置错误。

说明：

描述：

光闸吸收体或者光闸镜温度过高。

可能导致的原因：

检查光闸吸收体及光闸镜冷却水。

检查光闸吸收体及光闸镜上的温度开关接线正常。

检查光闸镜表面是否被损坏。

说明：

采用安装在光闸吸收体和光闸镜的常闭温度开关来监测。

描述：

监测激光器的压缩空气或普氮的压力是否正常，以保证对窗口镜片的保护和光闸的正常开关。

可能导致的原因：

空压机或者普氮气瓶的气体压力不足，气体压力表未调到5.5kg/cm²。

气管未连接到激光器。

说明：

低于4kg/cm²的前五分钟，出现警告。

采用安装在混气单元上的常闭压力开关来进行监测。

描述：

监测激光器工作气体中的氦气压力是否正常。

可能导致的原因：

He气瓶压力低－检查调节阀将其设置到5.5kg/cm²。如果需要，更换气瓶。

He供气管没有和激光器连接或者没有打开－连接供气管并打开供气阀。

说明：

低于4kg/cm²的前五分钟，出现警告。

采用安装在混气单元上的常闭压力开关来进行监测。

描述：

监测激光器工作气体中的CO₂压力是否正常。

可能导致的原因：

He气瓶压力低－检查调节阀将其设置到5.5kg/cm²。如果需要，更换气瓶。

He供气管没有和激光器连接或者没有打开－连接供气管并打开供气阀。

说明：

低于4kg/cm²的前五分钟，出现警告。

采用安装在混气单元上的常闭压力开关来进行监测。

描述：

监测激光器工作气体中的氮气压力是否正常。

可能导致的原因：

N₂ 气瓶压力低－检查调节阀将其设置到5.5kg/cm²。如果需要，更换气瓶。

N₂供气管没有和激光器连接或者没有打开－连接供气管并打开供气阀。

说明：

低于4kg/cm²的前五分钟，出现警告。

采用安装在混气单元上的常闭压力开关来进行监测。

描述：

监测激光器真空是否正常，若不能在90秒内将腔压抽至低于130mbar时报警。

可能导致的原因：

真空泄露。

真空泵错误。

抽气阀故障。

说明：

描述：

监测激光器冷却水的温度，正常的温度范围设定为12℃～25℃。

可能导致的原因：

冷水机未打开。

冷水机已打开但水温还未达到要求范围。

冷水机水温设置错误。

PT100测温电阻电缆连接不牢固或者断线。

冷水机冷媒不够。

说明：

PT100测温电阻安装在机械光闸上。

建议将冷却水温设置在18℃，波动范围设置在±0.5℃。

描述：

水流量低于激光器运行要求

可能导致的原因：

冷水机未打开。

冷水机水位不够。

冷水机过滤器堵塞，请清洗过滤器。

光闸冷却水管不畅。

说明：

水流量信号来自于安装在机械光闸上的水流量计。

描述：

监测激光器主电源的相位是否接对，以免真空泵反转，造成损失。

可能导致的原因：

连接到激光器的380V电压相位不正确。

380V电压缺相或者电压不够。

说明：

在380V电压值正常且无缺相的情况下，调换三相电源线其中两根线的顺序。

描述：

监测激光器风机磨合是否正常。

可能导致的原因：

电机轴承温度异常。

风机轴承温度异常。

轴承上冷却水流量不够。

轴承测温PT100的线缆接头连接不牢固或者断线。

风机轴承的润滑脂使用量不对。

说明：

轴承测温PT100安装在风机两端的轴承外壳内。

描述：

当变频器过载时变频器断路器断开。

可能导致的原因：

瞬间超负荷导致断路器短路。

变频器380V电源短路。

说明：

描述：

监测激光器真空泵是否工作正常，当真空泵过载时真空泵断路器断开。

可能导致的原因：

真空泵超负荷。

真空泵380V电源短路。

说明：

描述：

监测激光器的高压电源是否过载，当高压电源过载时高压断路器断开。

可能导致的原因：

高压电源超负荷。

高压电源380V电源短路。

高压电源内部问题。

说明：

描述：

风机启动后，监测激光器的充气速度是否正常。

可能导致的原因：

混气单元的充气电磁阀出现故障或者小孔堵塞。

混气单元配比错误。

说明：

描述：

激光器在正常工作时，气体压力偏离工作气压范围。

可能导致的原因：

激光器混气单元出现问题，充气速度慢。

快抽阀不能关闭。

充气阀不能打开。

真空泵没有正常工作。

检测激光器连接大地是否可靠，无可靠的连接大地将会导致干扰。

说明：

描述：

监测激光器光闸开启是否正常。

可能导致的原因：

气压低，可调大混气单元上的空气减压阀提高压力。

接近开关移位或损坏。

说明：

描述：

监测激光器光闸关闭是否正常。

可能导致的原因：

气压低，可调大混气单元上的空气减压阀提高压力。

接近开关移位或损坏。

说明：

描述：

监测激光器门是否关好。

可能导致的原因：

激光器门未关。

门联锁开关未压到位。

说明：

描述：

传感器检测到激光器箱体内温度过高。

可能导致的原因：

箱体内换热器风扇损坏。

箱体内换热器冷却水堵塞。

PT100温度传感器接头松动。

检测电路故障。

说明：

描述：

气压回充超过三分钟的时间限制。

可能导致的原因：

正压泄漏。

回充阀未能打开。

气管接错。

N2压力不足。

说明：

描述：

在风机未启动的情况下，变频器输出风机速度到达信号。

可能导致的原因：

变频器参数错误。

PLC错误。

说明：

描述：

电流板检测到放电异常现象。

可能导致的原因：

放电管内弧光放电。

长时间停机后拷机和换气不够充分。

激光器漏气。

气体配比错误。

气体纯度不够。

激光器接大地的接地电阻大导致信号干扰。

说明：

描述：

未按照激光器启动次序打开高压。

可能导致的原因：

CNC在允许开高压条件未达到的情况下送出了开高压信号。

机械光闸未关闭。

说明：

撤销开高压指令待条件达到时再打开即可。

描述：

未按照激光器启动次序打开电光闸。

可能导致的原因：

CNC在允许出光条件未达到的情况下送出了开电光闸信号。

说明：

撤销开电光闸指令待条件达到时再打开即可。

描述：

工作气体气压低，5分钟后停机。

可能导致的原因：

气瓶气压低或者气瓶关闭。

气管接错。

立即更换气体。

压力开关损坏。

说明：

描述：

水流量低于激光器运行要求。

可能导致的原因：

冷水机未打开。

冷水机水位不够。

冷水机过滤器堵塞，请清洗过滤器。

光闸冷却水管不畅。

说明：

水流量信号来自于安装在机械光闸上的水流量计。

描述：

冷却水温不在激光器要求范围。

可能导致的原因：

冷水机未打开。

冷水机已打开但水温还未达到要求范围。

冷水机水温设置错误。

PT100测温电阻电缆连接不牢固或者断线。

冷水机冷媒不够。

说明：

PT100测温电阻安装在机械光闸上。

建议将冷却水温设置在18℃，波动范围设置在±0.5℃。